雖說直讀光譜儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度很高，但在測(cè)定樣品中元素含量時(shí)還是會(huì)存在所得結(jié)果與真實(shí)值含量存在偏差的可能，我們也稱之為誤差。這個(gè)誤差我們大致可以分為兩類，分別是系統(tǒng)誤差（恒定誤差）和隨機(jī)誤差（偶然誤差）。
系統(tǒng)誤差是指在一定試驗(yàn)條件下由某個(gè)或某些因素按照某一確定的規(guī)律起作用而形成的誤差。它決定了測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度，系統(tǒng)誤差的大小和符號(hào)在同一試驗(yàn)中是恒定的，改變?cè)囼?yàn)條件時(shí)按照確定的規(guī)律變化。重復(fù)測(cè)定不能發(fā)現(xiàn)和減少系統(tǒng)誤差，只有改變?cè)囼?yàn)條件才能發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)誤差。測(cè)定結(jié)果與真實(shí)值偏離的程度越小，測(cè)定結(jié)果越正確，系統(tǒng)誤差就越小。一旦發(fā)現(xiàn)有系統(tǒng)誤差，一定要找出原因，設(shè)法避免和校正。
隨機(jī)誤差是具有隨機(jī)性的誤差，出現(xiàn)這種現(xiàn)象完全是一系列偶然因素（如測(cè)定環(huán)境的溫度、濕度、振動(dòng)、灰塵、油污、老化和儀器性能等）微小隨機(jī)波動(dòng)造成的。如果對(duì)樣品只進(jìn)行一次測(cè)定，其測(cè)定值可能比真值大也可能比真值小。它的出現(xiàn)決定了測(cè)定結(jié)果的精密度。隨機(jī)誤差是一種無規(guī)律性的誤差，在分析過程中總是存在的。其性質(zhì)是有時(shí)大，有時(shí)小，有時(shí)正，有時(shí)負(fù)，而產(chǎn)生的原因又無法控制。所以只有通過多次測(cè)量并取平均值，才可以減小隨機(jī)誤差。
具體來說，上述兩種誤差都是由人、機(jī)、料、法、環(huán)這五個(gè)環(huán)節(jié)帶來的。只有正確分析這五種因素才能減小隨機(jī)誤差和消除系統(tǒng)誤差。
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